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精微制造工程

該專業是博士學位和碩士學位授予點。本專業畢業研究生具有嚴謹求實的科學態度和作風，具有創新求實精神和良好的科研道德，立足現代制造技術的最新進展，結合多學科專門知識，培養學生具備微/納系統設計、制造、封裝、測量與精密裝備領域的學科的科學研究能力。滿足我國在精、微電子制造領域的教學、科研和工程技術工作以及相關的科技管理工作等方面高層次人才緊缺的需要。

碩士學位主要研究方向：

微/納器件，系統設計與工藝模擬、微制造與納米加工技術、微納系統封裝技術、微/納米尺度測試技術、微/納機電系統工藝裝備。

碩士主要學位課程：

微系統設計與仿真、微機電系統技術基礎、微系統封裝技術、精微制造技術、掃描探針顯微術、材料力學行為及計算仿真、薄膜技術等。

碩士主要選修課程：

微機原理與接口技術、制造過程工藝力學模擬、微機電系統測試與可靠性等。